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场发射扫描电子显微镜（JSM-7610FPlus）

发布时间：2023-04-13    作者：    浏览次数：


216C3

一、功能特色

配备半浸没式物镜，能将电子束收缩的很细，实现低加速电压下的高分辨成像；采用GENTLEBEAM™模式，通过给样品加以偏压使得电子束在到达样品前减速的功能来实现低加速电压下的有效观察和分析；可通过r-filter选择样品上产生的二次电子和背散射电子信号进行检测。


二、技术参数

1. 电子枪类型：热场发射枪

2. 加速电压：0.1 – 30 kV

3. 二次电子像分辨率：0.8 nm（15kV）、1.0 nm（1kV）

4. 放大倍率： 25–1M倍

5. 能谱：Oxford X-Max50 电制冷能谱仪


三、应用领域

通过扫描电子显微镜材料，可以进行材料表面形貌的观察；材料的断口形貌的观察，了解材料的破坏特征、材料内部的结构及缺陷；通过X射线能谱(EDS)和X射线波谱成分分析等电子探针附件，可掌握材料微区化学成分分析。